微纳分析

微纳涂(镀)层 

涂镀层量测
基材及涂镀层的元素定性半定量分析
涂镀层与基材的结合状况
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微纳器件 

纳米级无损分析(X-Ray + 3D CT三维断层扫描技术、C-SAM超声波扫描)
超精细定点研磨及微纳级精密制样
纳米级精密切割
FIB聚焦离子束技术应用
场发射SEM及TEM应用

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